受付番号	００２８
登録番号	U-02-007
所在地	大阪府
シーズ名称	共焦点型3次元蛍光Ｘ線分析
シーズ概要	微小部領域における蛍光Ｘ線分析が重要性を増している中、分析試料内部の微小空間におけ る分析、すなわち“ 3 次元” の分析が盛んに なりつつある。そこで、共焦点型蛍光Ｘ線分析 法では、まず一次Ｘ線をポリキャピラリーレン ズなどでマイクロビームに集光して試料に照射 する。このとき検出側のポリキャピラリーレン ズの焦点を、照射したマイクロビームの光路中 の一点（照射側レンズの焦点位置）に合わせれ ば、特定の空間内でのみ発生する蛍光Ｘ線を検 出することができる。 この実験配置で試料ステージを x-y-z 軸方向 に3次元走査すれば、試料を損傷させることなく、 非破壊で3 次元の元素分析を行うことができる。時間分解型のエネルギー分析装置も準備しているので、対象元素の時間変化を調べることも可能である。
特許等
学　会
論文紙
連携形態
特記事項